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精密电阻制作能力

电阻材料	Ta₂N
方阻范围	5Ω/□～200Ω/□
温度系数	-20±60ppm(-50~150℃）
电阻精度	免激光修调：±2% 激光修调：±0.1%
电阻线宽/间距	≥5μm

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